Представленная работа направлена на разработку методов, алгоритмов технологии цифровой фотограмметрической обработки снимков с растрового электронного микроскопа (при увеличении до 500х), а также программную реализацию предложенных методов обеспечивающую полный цикл полуавтоматического создания цифровой модели рельефа микрообъекта в виде единого комплекса включающего РЭМ и три программных блока: цифровой фотограмметрический системы Z-Space и двух разработанных модулей PA-3DM.