Информация о публикации

Просмотр записей
Инд. авторы: Горобчук А.Г.
Заглавие: Математическое моделирование плазмохимических процессов в микроэлектронике
Библ. ссылка: Горобчук А.Г. Математическое моделирование плазмохимических процессов в микроэлектронике // Тезисы докладов XIII Международной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения академика М. Ф. Жукова: Новосибирск, 5-7 сентября 2017. - 2017. - Новосибирск. - С.53.
Издано: 2017
Физ. характеристика: с.53
Конференция: Название: XIII Международная конференция, посвященная 100-летию со дня рождения академика М. Ф. Жукова
Город: Новосибирск
Страна: Россия
Даты проведения: 2017-09-05 - 2017-09-07